Прибор ионно-лучевого травления ИЛТ-050

Прибор ионно-лучевого травления ИЛТ-050 представляет собой приставку к вакуумному универсальному посту ВУП-5М (ВУП-5).

Приставка ИЛТ-050 предназначена для осуществления операций, связанных с распылением и травлением материалов в вакууме ионным пучком с целью исследования полученных поверхностей и материалов (методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии и другими).

Приставка может быть использована в лабораториях при исследованиях по физике твердого тела, микроэлектронике для получения новых материалов, а также применима при выполнении отдельных технологических операций.

Приставка предназначена для эксплуатации в стационарных условиях при температуре окружающего воздуха от 15 до 25 С и относительной влажности не более 80 %.

Приставка относится к исполнению УХЛ категории 4.2 по ГОСТ 15180-69.

Конструктивные особенности

• Диапазон рабочего давления в объеме при работе приставки от 6,0 10-5 до 8 10-4 мм. рт. ст.
• Электрическое питание приставки осуществляется от сети переменного тока напряжением 220 В частотой 50 Гц.
• Потребляемая мощность не более 600 Вт.
• Масса 60 кг.

• Внутренний объем высоковакуумного объема приставки 12 л.
• Максимальное напряжение на выходе высоковольтного блока питания анода не более 8 кВ.
• Максимальное напряжение на выходе высоковольтного блока питания, фокусирующего не более 8 кВ.
• Напряжение блока питания разряда не менее 800В.
• Разрядный ток ионных пушек (50 ± 3) мА.
• Ионный ток на образце от 30 до 600 мкА.